超低温泵工作原理和结构

2020-02-28 11:52:12 admin

超低温泵主要由泵壳、障板和冷屏、冷头、二级冷板等组成。为了监测到低温泵的使用情况,在障板、冷屏以及二级冷板上安装了硅二极管,可以监测到低温泵内的温度。

  低温泵是依靠小型制冷机提供冷量,将二级冷板冷却到12K以下,使低温表面具备抽气能力。

  利用液氮提供80K左右的冷屏蔽,为二级冷板提供冷背景,并冷凝大量水汽等,保证冷板具备持续抽气能力,提高极限真空。

  不锈钢泵壳提供密封环境,支撑内部和外部设备及部件,形成泵体。

  泵口的障板主要是为进入泵内的气体遇冷,并冷凝部分气体,保护冷板不受热冲击。

  这三部分从外到内温度从高到低,要求互不接触, 互相热隔绝,逐层提供冷屏蔽。

主要由泵壳、障板和冷屏、冷头、二级冷板等组成。为了监测到低温泵的使用情况,在障板、冷屏以及二级冷板上安装了硅二极管,可以监测到低温泵内的温度。

   超低温泵的工作原理是利用气体在超低温表面发生物理吸附而达到排气的效果,是获得洁净真空的一种有效、快捷的方法。

超低温泵的一级冷台上,设置屏蔽罩和挡板,温度维持在80K。二级冷台维持在15K,上面设置低温罩和活性炭吸附剂。

  水蒸气凝固在80K屏蔽罩和80K挡板上;氮气、氧气和氩气凝固在15K低温罩上;氢气、氦气和氖气被吸附在15K低温罩内侧的吸附剂上。低温泵可以对所有气体排气,但是如果吸附的气体量过多,则排气速度降低。这时,需要将低温泵加热,放出吸附的气体后,重新使用。


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